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機(jī)械手臂是構(gòu)造形式設(shè)備之一,對(duì)于工業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),有時(shí)并不需要機(jī)械手臂具有完整的六個(gè)自由度,而只需其中的一個(gè)或幾個(gè)自由度。直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂可以由單軸機(jī)械手臂組合而成。
單軸機(jī)械手臂作為一個(gè)組件在工業(yè)中應(yīng)用廣泛,單軸機(jī)械手臂的組件化大大降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本,因?qū)I(yè)制造商擁有良好的質(zhì)量保證和批量生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì),使用組件比自行設(shè)計(jì)機(jī)械手臂更具優(yōu)勢(shì)。常見(jiàn)的直交機(jī)械手組合有懸臂式,龍門(mén)式,直立式,橫立式等樣式。
對(duì)于半導(dǎo)體制造應(yīng)用來(lái)說(shuō),常用的機(jī)械手臂是用來(lái)搬送晶片,手臂一般有3個(gè)運(yùn)動(dòng):伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降。實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運(yùn)動(dòng)是由橫臂和產(chǎn)柱去完成,手臂的基本作用是將手爪移動(dòng)到所需位置和承受爪抓取工件的大重量,以及手臂本身的重量等。
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